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昆明理工大學研發多晶硅還原爐模型提升溫度均勻性

2025-10-18 11:19  瀏覽:  

昆明理工大學聯合云南云通鋅業公司等機構的研究團隊,開發出新型四環80棒工業西門子反應器的電熱模型。該模型專注于模擬U形硅棒在多晶硅還原爐內的加熱過程,旨在優化溫度分布并提升能源效率。

研究團隊在《工程成果》期刊發表的論文中指出,早期研究顯示高頻交流電可利用集膚效應改善多晶硅棒溫度均勻性。新建模型涵蓋大型還原爐的熱行為、電行為及多環相互作用,通過Comsol軟件對多晶硅材料進行數值模擬,整合了焦耳加熱、直流與傳熱模型。團隊詳細設定了邊界條件與關鍵參數,以確定反應器內的溫度梯度。

為驗證模型準確性,研究人員將模擬電壓與工業80棒還原爐實際數據對比。論文表明,該模型對熱電行為的預測相對誤差小于10%。研究人員表示:“交流加熱顯著改善了溫度均勻性”,調整頻率可有效降低中心溫度。基于四環平均數據構建的回歸方程預測準確,平均相對誤差為4.62%。

研究顯示,頻率與直徑在5千赫至200千赫范圍內存在強相互作用,超過300千赫后溫差趨于穩定。這一多晶硅還原爐模型為工業應用提供了理論依據,有助于推動多晶硅生產工藝的優化。

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